GC-500碱性蚀刻液属于铜氨络离子系统,,,适用于精细线路印刷电路板的蚀刻铜流程;高速度,,,高含铜量,,,及特殊添加剂,,,使药液有极优秀的稳定性,,,能适用于所有的抗蚀阻剂的高精密内层板和外层板。。。
特点:
高铜含量,,,,Cu2+可达120-160g/L;
快速度,,,,蚀铜速率可达45um/min以上;
PH范围广,,,,在8.0-8.6范围内可正常生产;
对锡铅面攻击小;
1/1OZ板蚀刻因子达2.0以上;
细线制作能力达到3/3mil。。
1. 设备要求及建议
设备项目 | 要求及建议 |
槽体设计 | 水平传动,,,,喷淋式设计 |
槽体材料 | 聚乙烯,,,,聚氯乙烯,,,,聚丙稀 |
金属部件 | 钛材 |
加热、、冷却器材料 | 石英,,,,钛;聚四氟乙烯,,,,塑料 |
循环、、、、过滤系统 | 10um以上的的过滤棉芯或过滤袋 |
排气系统 | 聚乙烯,,聚氯乙烯,,,聚丙烯;100-500CFM抽风量 |
槽液组分(按100升配制) | 添加量 L | 比重(g/cm3) |
GC-500碱性蚀刻母液 | 100 | 1.17-1.20 |
配槽步骤:
加入CW水,,,,喷淋循环清洗半小时以上,,排走;
加入5%HCl溶液,,,喷淋循环清洗一小时以上,,,排走;
加入CW水,,,,喷淋循环清洗半小时以上,,,排走;
加入5%氨水,,,喷淋循环清洗半小时以上,,,排走;
加入GC-500碱性蚀刻母液,,,,至标准液位。。。。
3. 操作参数
碱性蚀刻液GC-500的控制参数:
操作参数 | 操作范围 | 最佳值 |
比重 S.G | 1.170-1.200 | 1.185 |
Cu2+(g/L) | 120-160 | 140 |
CL-(g/L) | 160-200 | 175 |
PH | 8.0-8.6 | 8.3 |
温度(℃) | 45-55 | 50 |
4. 流程控制与维护
S.G的控制,,,采用自动添加碱性蚀刻液GC-500的方式自动控制;
PH值的控制,,,,采用自动添加浓氨水的方式自动控制;
停机时间过长,,需适当补加5-10升浓氨水,,,,避免NH3的过量挥发损失;
停机时间超过48H,,,需将GC-500蚀刻母液抽出,,,,贮存于密闭的容器中。。
维护保养:
每月一次,,按配槽步骤清洗碱性蚀刻工作槽;
每月一次,,,,10um棉芯过滤GC-500碱性蚀刻母液。。。。
5. 产品特性及储存条件
碱性蚀刻液GC-500:
碱当量:5.5 ± 0.5 mol/L
氯离子: 160 - 175 g/L
比 重: 1.05 ± 0.05 g/cm3
外 观: 澄清透明液体
储存条件:储存于阴凉地方,,避免阳光直接照射;不能与酸性物质或其它不兼容的物质混放。。。。
6. 安全指引
避免直接接触此化学品;操作时需要保护衣物及戴上化学手套、、、、安全眼镜等。。。。勿吸入其蒸气。。。。
被污染的衣物重新使用前需要清洗干净。。。。
在使用或需要接触到此化学品前,,,请仔细阅读相关的《化学品安全技术说明书》(Material Safety Data Sheet,,,,MSDS)。。。。相关资料请向东莞z6com·尊龙凯时电子材料有限公司技术人员索取。。。。
7. 分析方法
7.1 Cu2+含量
分析试剂:
· 0.1M-EDTA标准溶液
· MX指示剂
分析步骤:
· 准确移取5毫升的样品至洁净的100ml容量瓶中,,用去离子水稀释至刻度;
· 吸取上述溶液5ml至250ml锥形瓶中,,,加入约50-100ml 去离子水;
· 加入约0.02g的MX指示剂;
· 以0.1M-EDTA标准溶液滴定,,,,当溶液颜色由绿再转为蓝色或紫色时点即为终点。。。。
计算方法:
· Cu2+(g/L)=0.1M-EDTA滴定的ml数×25.416
7.2 Cl-含量
分析试剂:
· 0.1M-AgNO3标准溶液
· 10%Na2Cr2O7(重络酸钠)指示剂
· 2%冰醋酸
分析步骤:
· 准确移取5毫升的样品至洁净的100ml容量瓶中,,用去离子水稀释至刻度;
· 吸取上述溶液5ml至250ml锥形瓶中,,,加入约50ml去离子水;
· 加入5-10滴10%Na2Cr2O7指示剂;
· 加入适量2%冰醋酸,,至溶液颜色变清亮黄色;
· 以0.1M-AgNO3标准溶液缓慢滴定至刚出现棕红色,,,沉淀呈分散的细颗粒状为终点。。
计算方法:
· Cl-(g/L)=0.1M- AgNO3滴定的ml数×14.18
7.3 碱当量
分析试剂:
· 0.1M-(1/2 H2SO4)标准溶液
· 0.1%甲基红指示剂
分析步骤:
· 准确移取5毫升的样品至洁净的100ml容量瓶中,,用去离子水稀释至刻度;
· 吸取上述溶液5ml至250ml锥形瓶中,,,加入约50ml去离子水;
· 加入3-5滴0.1%甲基红指示剂;
· 用0.1M-(1/2 H2SO4)标准溶液滴定上述溶液,,,,当溶液颜色由黄色变成橙红色为终点。。
计算方法:
· 碱当量(mol/L)= 0.1M-(1/2 H2SO4)标准溶液消耗的ml数×0.4