SC-308闪蚀添加剂
SC-308是一种IC载板mSAP制程专用的闪蚀添加剂，，，，SC-308基于硫酸-双氧水体系，，，，特定的添加剂及其配比，，可对金属铜进行“各向异性”蚀刻，，，从而最大限度地保持精密线路的线型。。。。
特点：
线型保持度高；
硫酸-双氧水体系，，，，可再生；
蚀刻速率稳定，，均匀性高；
可喷淋或浸泡；
常规污水处理方式；
操作范围较宽，，，，药水管控简单。。。
1. 设备要求及建议
设备项目 | 要求及建议 |
槽体设计 | 水平传动，，，，喷淋或浸泡式设计 |
槽体材料 | 聚乙烯，，，，聚氯乙烯，，，，聚丙稀 |
金属部件 | 316不锈钢 |
加热、、冷却器材料 | 石英，，，聚四氟乙烯 |
过滤、、、循环系统 | 10微米的滤芯或滤袋 |
排气系统 | 聚乙烯，，聚丙烯，，，聚氯乙烯；100-500CFM抽风量 |
2. 配槽
槽液组分（按100升配制） | 添加量 L | 比重(g/cm3) |
SC-308闪蚀添加剂 | 5 | 1.01±0.05 |
50%硫酸 | 7 | 1.395 |
50%双氧水（35%双氧水） | 2.5（3.5） | 1.195（1.132） |
配槽步骤：
加入CW水，，喷淋循环清洗半小时以上，，，，排走；
加入5%NaOH溶液，，喷淋循环清洗一小时以上，，排走；
加入CW水，，喷淋循环清洗半小时以上，，排走；
加入5%硫酸溶液，，，喷淋循环清洗半小时以上，，，，排走；
加入纯水，，，喷淋循环清洗半小时以上，，排走，，，，重复至电导率＜10μS/cm；
加入纯水至2/3工作体积，，，按照7%体积比加入50%的硫酸，，按照2.5%体积比加入50%的双氧水；
按5%体积比加入SC-308闪蚀添加剂；
加纯水至标准液位；
3. 操作参数
闪蚀添加剂SC-308的控制参数：
操作参数 | 操作范围 | 最佳值 |
SC-308 | 30-80ml/L | 50ml/L |
50%硫酸 | 50-200ml/L | 70ml/L |
50%（35%）双氧水 | 15-40ml/L（20-60ml/L） | 25ml/L(35ml/L) |
温度（℃） | 25-40 | 30 |
4. 流程控制与维护
SC-308闪蚀添加剂使用时，，，，根据硫酸或双氧水补充量按照一定比例添加调整，，50%双氧水与闪蚀添加剂的补充比例为1:2（体积比），，，，配备稳态运行的系统可使用硫酸、、、、双氧水与铜面微蚀剂按照一定比例调配成补充液，，，，参考比例(（体积比）为，，，50%硫酸:50%双氧水:SC-308=15:6.5:13（即50%硫酸开15%v/v、、、50%双氧水开6.5%v/v，，SC-308开13%v/v作为补充液）。。以上补充液在微蚀量2.5μm/min的情况下，，自动添加设定参考值为1㎡做板量补充1.5~3.5L.
对于手动补充药水的生产线，，，，硫酸，，双氧水和SC-308的补充比例仍可按照50%硫酸:50%双氧水:SC-308=15:6.5:13的比例补充，，，，即每补充1L质量浓度为50%的双氧水，，同时补充1L SC-308微蚀剂2和质量浓度为50%的硫酸2.3L。。。
注意：本产品在配制及使用过程的任何环节，，，禁止氯离子混入，，氯离子混入会导致微蚀速率大幅下降。。。。
5. 产品特性及储存条件
铜面微蚀剂SC-308：
比 重： 1.01±0.05 g/ml
外 观： 无色至淡黄色透明液体
储存条件： 储存于阴凉地方，，，避免阳光直接照射；存放在密闭容器中；必须远离任何碱性、、、、易燃性、、易氧化性物质。。。
6. 安全指引
避免直接接触此化学品；操作时需要保护衣物及戴上化学手套、、安全眼镜等。。。
勿吸入其蒸气。。。。
被污染的衣物重新使用前需要清洗干净。。
在使用或需要接触到此化学品前，，请仔细阅读相关的《化学品安全技术说明书》（Material Safety Data Sheet，，MSDS）。。相关资料请向东莞z6com·尊龙凯时电子材料有限公司技术人员索取。。。
7. 分析方法
7.1 Cu2+含量
分析试剂：
· pH=10缓冲液
· 0.1M-EDTA标准溶液
· 0.1%PAN指示剂
分析步骤：
· 准确移取 1 毫升的样品至洁净的 250ml 锥形瓶中；
· 加入约 50-100ml 去离子水，，20ml pH=10缓冲液，，，，加3-5滴PAN指示剂；
· 以 0.1M-EDTA 标准溶液滴定上述溶液，，，，当溶液颜色由深蓝色变成浅绿色为终点，，记录滴定体积V ml。。。。
计算方法：
· Cu2+（g/L）= V×6.354
7.2 50%硫酸含量
分析试剂：
· 0.1M-NaOH标准溶液
· 0.1%甲基橙指示剂
分析步骤：
· 准确移取 1 毫升的样品至洁净的 250ml 锥形瓶中；
· 加入约 50-100ml 去离子水，，，，加3-5滴甲基橙指示剂；
· 以 0.1M-NaOH 标准溶液滴定上述溶液，，，当溶液颜色由红色变成黄色为终点，，，记录滴定体积V ml。。。。
计算方法：
· 50%H2SO4（ml/L）= V×7
7.3 50%双氧水含量
分析试剂：
· 0.1N-KMnO4标准溶液
· 50%硫酸溶液
分析步骤：
· 准确移取 1 毫升的样品至洁净的 250ml 锥形瓶中；
· 加入约 50-100ml 去离子水，，，，加10ml 50%硫酸溶液；
· 以 0.1N-KMnO4标准溶液滴定上述溶液，，，当溶液颜色由无色变成粉红色为终点，，，，记录滴定体积V ml。。
计算方法：
· 50%H2O2（ml/L）= V×2.862
